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霍克光儀(北京)科技有限公司

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壓電平移臺PPX-32

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瀏覽量:
103
產品編號
PPX-32
臺面尺寸:
32x32
行程:
18x18mm
最大載重:
1
分辨率:
1nm
重復定位精度:
±50nm
真空選項:
反饋:
數量
-
+
庫存:
0
1
產品描述
[[[[產品參數, 參數]]]]

The PPX-32 is a low profile, long travel, integrated XY stage with a height of only 14 mm. Four pre-loaded ball slides guarantee smooth and stable motion for loads up to 10 N. It utilizes a multi-phase piezo motor resulting in high speed (> 2 mm/s) and high blocking force (> 1 N). The PPX-32 is available in open loop or with a linear encoder Closed-loop resolution of 1 nm is achievable. Versions capable of operation in vacuum (10-9  mbar) are available. The PPX-32 is compatible with the MMC-100 and MMC-110 controllers.

Travel Dependent Specifications
Travel range [mm] 18 x 18
Straightness/Flatness [µm] ± 2.5
Pitch [µrad] ± 200
Yaw [µrad] ± 100
Weight [g] 40
Motor Compatibility
Motor option Piezo Motor, PM-002
Speed, max [mm/s] 2 (MMC-100), 5(MMC-110)
Motor/Feedback Dependent Specifcations
Encoder option None (open loop) Analog (1 Vpp) Digital (RS-422)
Resolution, typical [nm] 1 10 1
Repeatability, bi-directional [nm] n/a ± 50 ± 50
Repeatability, uni-directional [nm] n/a 50 50
Accuracy [µm] - ± 1 ± 1

 

Load Characteristics
Orientation Fx [N] Fy [N] Fz [N] Mx [N·m] My [N·m] Mz [N·m]
Load, max 1 1 10 0.6 0.6 0.6
Order no.: PPX-32-
Drive          
  Piezo Motor, PM-002 1        
Travel          
  18 x 18 mm   1      
Encoder          
  None (open loop)     0    
  Analog (1 Vpp)     2    
  Digital (RS-422)     3    
Limit Switch          
  None       0  
Environment          
  Atmospheric         0
  High Vacuum, 10-6 mbar         6
  Ultra High Vacuum, 10-9 mbar         9
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

霍克光儀(北京)科技有限公司是一家從事光電產品設計及銷售的企業。
產品廣泛應用于光譜研究、光纖通訊、航空航天、品質檢測、國防軍工、激光加工、
LED檢測、生物醫療及信息安全等相關領域。

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